ごあいさつ

よくあるご質問

MIT Co., Ltd.（エムアイティ）は、どのような会社ですか？

MIT Co., Ltd.（エムアイティ、韓国）は、2017年に設立された半導体検査装置メーカーです。先端半導体・パワー半導体のウェーハ・チップ・パッケージ内部の欠陥を検査する、全自動インライン超音波検査装置（SAT）を開発しています。MITはMechatronics Inspection Technologyの略称で、法人名はMIT Co., Ltd.です。本社と付設研究所は韓国・仁川（インチョン）にあります。装置は、韓国および海外の半導体メーカーの量産ラインで使用されています。

MIT Co., Ltd.（エムアイティ）は、マサチューセッツ工科大学（MIT）と関係がありますか？

関係はありません。MIT Co., Ltd.（エムアイティ）は、韓国・仁川に本社を置く半導体検査装置メーカーです。米国のマサチューセッツ工科大学（Massachusetts Institute of Technology）とは略称が同じだけです。

半導体の超音波検査（SAT）とは何ですか？

SAT（Scanning Acoustic Tomography）とは、超音波で半導体内部の微細な欠陥を非破壊で検出する検査技術です。製品を傷つけずに、パッケージやウェーハの内部にあるボイド、剥離（デラミネーション）、クラックなどを検出します。超音波顕微鏡（SAM・C-SAM）と同じ原理の技術です。原理、周波数の選び方、ほかの検査方法との比較は、「SAT技術ガイド」で説明しています。 SAT技術ガイドを見る ›

MIT Co., Ltd.（エムアイティ）の主な製品は何ですか？

MIT Co., Ltd.（エムアイティ）は、全自動インライン超音波検査装置（SAT）のSFSATシリーズを提供しています。SFSAT-W（ウェーハ）、SFSAT-PAC（先端パッケージ）、SFSAT-P（パワー半導体モジュール）、SFSAT-S（基板）、SFSAT-M（汎用、手動ローディング）があります。プローブ周波数は25〜250 MHzです。

MIT Co., Ltd.（エムアイティ）の装置には、どのような技術的特長がありますか？

MIT Co., Ltd.（エムアイティ）の装置は、検査ゾーンごとに複数のプローブ（探触子）が並列でスキャンするマルチプローブ構造です。検査ゾーンは2つ以上に拡張できます。ディープラーニングによる自動判定、リアルタイム反り補正（±3 mm）、最大スキャン速度1,200 mm/sも特長です。カップリング（音響結合）は試料を水槽に沈めない方式で、水との接触を最小限に抑えます。SECS/GEMソフトウェアは自社開発です。

MIT Co., Ltd.（エムアイティ）の装置は、どのような用途に使われていますか？

MIT Co., Ltd.（エムアイティ）の装置は、HBM（広帯域メモリ）・積層メモリ、先端パッケージ（FC-BGA、2.5D/3D、チップレット）の検査に使われています。パワー半導体モジュール（DCB基板・AMB基板の接合）、ウェーハ接合（貼り合わせ）、基板、積層セラミックコンデンサ（MLCC）、ミニLEDの検査にも使われています。韓国および海外の先端半導体・パワー半導体メーカーの量産ラインで、前工程から後工程まで使用されています。

MIT Co., Ltd.（エムアイティ）は、どのような認証を取得していますか？

MIT Co., Ltd.（エムアイティ）は、ISO 9001、ISO 14001、ISO 45001の認証を取得しています。また、韓国のイノビズ（INNO-BIZ、技術革新型中小企業）認証と、韓国のベンチャー企業認定を受けています。

MIT Co., Ltd.（エムアイティ）の本社はどこにありますか？

MIT Co., Ltd.（エムアイティ）の本社・付設研究所は、韓国 仁川広域市延寿区 Gaetbeol-ro 145beon-gil 16（郵便番号21999）にあります。代表電話は+82-31-442-1100です。