SAT 기술
엠아이티 SAT의 강점객관적 지표로 보기
주식회사 엠아이티(MIT, Mechatronics Inspection Technology)는 반도체 웨이퍼·어드밴스드 패키지·전력반도체 모듈·기판 내부의 보이드·박리·크랙을 검출하는 전자동 인라인 초음파 검사(SAT) 장비 SFSAT 시리즈를 개발·제조합니다. 이 페이지는 엠아이티 장비가 다른 SAT 장비와 어디가 다른지를 특허·수상·외부 평가 같은 객관적인 지표와 함께 정리했습니다. SAT 자체가 무엇인지는 SAT 기술 가이드에, 왜 필요한지는 왜 SAT인가에 있습니다.
| 강점 | 내용 |
|---|---|
| 양산 라인용 전자동 SAT | 국내 최초로 양산형 전자동 초음파 검사장비를 상용화 (동아일보 2026-07, 스타트업투데이 2023-12 보도) |
| XY 스캔 + 멀티프로브 | 정확한 결함 좌표를 지키는 XY 스캔에 멀티프로브 병렬 스캔을 결합해 검사 속도를 높임. 검사 존은 2개 이상으로 확장 가능. 최대 스캔 속도 1,200 mm/s (등록 특허, 기술성 평가 A등급) |
| 딥러닝 자동 판정 | 보이드·박리·크랙을 자동으로 검출하고 양·불을 분류 (IR52 장영실상 2024) |
| 양산 검증 | 국내 주요 첨단반도체·전력반도체 제조사의 전공정·후공정 양산 라인에서 가동 중, 해외 공급 확대 (700만불 수출의 탑 2024) |
| 외부 평가 | 기술성 평가 A등급(2026), 등록 특허 48건, 철탑산업훈장(2023), 국가연구개발 우수성과 100선(2026) |
| 전문 인력 | 핵심 경영진·연구 책임자 대부분이 반도체 장비 업계 경력 20~30년, 전체 인력의 약 5분의 1이 석·박사 |
1. 실험실 장비가 아니라 양산 라인 장비로 만들었다
초음파 현미경(SAM·C-SAM)은 오랫동안 실험실 장비였습니다. 전문 인력이 시료를 올려놓고 영상을 판독하는 방식이라 신뢰성 시험 샘플과 고장 분석에는 맞지만, 양산 라인의 전수 검사에는 맞지 않았습니다. 엠아이티는 2017년 설립 때부터 이 장비를 라인 안에서 전문 인력 없이 돌아가는 전자동 검사 장비로 다시 설계하는 것을 목표로 삼았고, 2020년 전자동(full automation) 초음파 검사장비를 개발했습니다. 언론은 엠아이티를 국내 최초로 양산형 초음파 자동화 검사장비를 상용화한 회사로 보도했습니다. (동아일보 2026-07-22, 스타트업투데이 2023-12-21)
전자동 인라인이 뜻하는 것은 다음과 같습니다.
| 항목 | 실험실형 SAT | 엠아이티 SFSAT(전자동 인라인) |
|---|---|---|
| 시료 공급 | 전문 인력이 한 개씩 올림 | 로더·핸들러가 웨이퍼·트레이를 자동 공급·정렬 |
| 판정 | 전문 인력이 영상을 보고 판독 | 딥러닝 기반 자동 판정과 양·불 분류 |
| 판정 기준 | 판독자에 따라 편차 | 데이터로 관리되는 동일 기준의 반복 |
| 처리량 | 샘플 수 개 | 프로브 수·검사 존 수에 비례하는 병렬 스캔. 검사 존은 2개 이상 구성 가능 |
| 공장 연동 | 없음 | SECS/GEM 자체 개발 소프트웨어로 MES 연동 |
| 물 관리 | 시료를 물에 담금 | 워터폴·버블트랩 방식으로 물 접촉을 최소화 |
| 휨 대응 | 평평한 시료 전제 | 실시간 휨 보정 ±3 mm |
2. XY 스캔과 멀티프로브: 좌표는 정확하게, 검사는 빠르게
초음파 검사 장비가 시료를 훑는 방식은 크게 두 가지입니다. 프로브가 가로와 세로로 움직이며 격자 모양으로 측정하는 XY 스캔, 그리고 웨이퍼를 회전시키며 나선 모양으로 측정하는 스핀(Spin) 스캔입니다. 스핀 스캔은 속도를 내기 쉽지만, 측정 위치를 회전 각도와 반지름으로 환산해야 해서 결함의 정확한 좌표를 얻기 어렵습니다. 찾아야 하는 결함이 미세해지고 스캔 피치가 촘촘해질수록 이 한계는 더 커집니다. 결함의 좌표가 정확해야 자동 판정, 리뷰, 불량 분류, 공정 피드백이 가능하므로 엠아이티는 모든 측정점이 정확한 x-y 좌표를 갖는 XY 스캔을 씁니다.
XY 스캔의 과제는 속도입니다. 프로브 하나로 넓은 면적을 촘촘하게 측정하면 시간이 그만큼 늘어납니다. 엠아이티는 이 문제를 멀티프로브로 풀었습니다. 검사 존마다 여러 개의 프로브가 나란히 움직이며 동시에 스캔하므로, 좌표 정확도는 그대로 지키면서 처리량은 프로브 수와 검사 존 수에 비례해 늘어납니다. 검사 존은 생산량에 맞춰 2개 이상으로 늘릴 수 있습니다. 최대 스캔 속도는 1,200 mm/s이며, XY 스캔 방식의 SAT 장비 가운데 가장 빠른 수준입니다.
여러 프로브를 동시에 쓰면 프로브 사이의 감도 편차와 신호 정합 오차가 생기기 쉽습니다. 엠아이티는 이를 보정하는 알고리즘을 자체 개발했고, 2026년 기술성 평가에서 이 멀티프로브 기반 초고속 자동 검사 플랫폼으로 A등급을 받았습니다. 이 평가에서는 대면적 웨이퍼와 패키지, 기판을 전수 검사하면서도 업계 최고 수준의 처리 속도를 구현한 점을 인정받았습니다. (동아일보 2026-07-22 보도)
관련 등록 특허로는 대량 검사가 가능한 초음파 검사 장치(KR102694850B1), 멀티라인 스캔 정보를 이용한 워페이지 검사(KR102964546B1), 가상 라인 기반 영상 합성에 의한 초음파 검사 시스템(KR102964552B1) 등이 있습니다.
처리량은 스캔 피치와 시료, 장비 구성에 따라 달라집니다. 시료를 보내 주시면 같은 조건에서 평가한 모델별 처리량을 안내해 드립니다.
3. 딥러닝 자동 판정: 전문 인력 판독의 편차를 없앤다
양산 검사에서 영상을 얻는 것보다 어려운 일은 같은 기준으로 판정을 반복하는 것입니다. 전문 인력이 판독하면 판독자와 시간대에 따라 기준이 흔들리고, 전수 검사 물량을 감당할 수도 없습니다. 엠아이티는 딥러닝 기반 자동 판정 시스템으로 보이드·박리·크랙을 검출하고 양·불을 분류합니다. 이 시스템은 2024년 IR52 장영실상을 받았습니다. 장영실상은 한국산업기술진흥협회와 과학기술정보통신부가 외부 심사를 거쳐 수여하는 상입니다. 불량 소자 검사 및 분류 방법(KR102459234B1) 등 판정 관련 특허도 등록되어 있습니다.
판정 기준이 데이터로 관리되므로 결함의 종류·위치·분포를 공정으로 되돌려 주는 피드백이 가능합니다. 이것이 검사를 비용이 아니라 수율 개선 수단으로 바꾸는 부분입니다.
4. 양산 라인에서 검증되었다
엠아이티의 SFSAT 장비는 국내 주요 첨단반도체 제조사의 전공정·후공정 양산 라인과 전력반도체 제조사의 양산 라인에 설치되어 가동 중입니다. 검사 대상은 웨이퍼, 어드밴스드 패키지, 전력반도체 모듈, DCB·AMB 기판에 걸칩니다. 공급은 국내를 넘어 대만·베트남·일본·말레이시아 등 해외로 확대되고 있습니다. 고객사 이름은 비밀유지계약에 따라 공개하지 않습니다.
2024년 무역의 날에는 700만불 수출의 탑을 받았고, 매출은 2023년 69억 원에서 2024년 139억 원, 2025년 149억 원으로 늘었습니다. (감사보고서 기준)
5. 외부 평가와 지표
아래 항목은 외부 기관이 심사하거나 기록한 것입니다.
| 지표 | 내용 | 시점 |
|---|---|---|
| 기술성 평가 A등급 | 한국거래소 지정 전문평가기관이 기술의 완성도·경쟁 우위·사업화 가능성을 심사 | 2026년 7월 |
| 등록 특허 48건 | 초음파 검사 시스템, 멀티프로브 스캔, 자동 판정, 휨 시료 검사 등. 출원 중을 포함하면 50건 이상 | 2026년 9월 기준 |
| IR52 장영실상 | 딥러닝 기반 자동 판정 SAT 시스템 | 2024년 |
| 철탑산업훈장 | 소재·부품·장비 산업 발전 기여 | 2023년 |
| 국가연구개발 우수성과 100선 | 과학기술정보통신부 선정 | 2026년 |
| 700만불 수출의 탑 | 한국무역협회, 무역의 날 | 2024년 |
| 아기유니콘 선정 | 중소벤처기업부 | 2022년 |
| 인증 | ISO 9001·14001·45001, 이노비즈, 소부장 전문기업, 우수 기업부설연구소, 지식재산경영인증 | 현행 |
기술성 평가는 코스닥 기술특례상장을 위해 한국거래소가 지정한 외부 전문평가기관이 박사급 전문가를 포함한 심사단으로 기술의 완성도, 경쟁 우위, 사업화 가능성을 평가해 등급을 매기는 절차입니다. 특허 등록증과 인증서, 수상 내역은 특허·인증·수상 페이지에서 볼 수 있습니다.
6. 전문 인력: 반도체 장비를 만들어 온 팀
장비의 완성도는 결국 그것을 만드는 인력의 경험에서 나옵니다. 엠아이티의 대표이사, 부대표, 연구소장, 소프트웨어·하드웨어 담당 임원 등 핵심 경영진과 연구 책임자 대부분은 반도체 장비 업계에서 20~30년을 일해 온 전문가들입니다. 전체 인력의 약 5분의 1이 석·박사이며, 부설연구소는 정부가 지정하는 우수 기업부설연구소입니다. 초음파 검사 장비는 초음파 물리, 정밀 기계, 모션 제어, 영상 처리, 딥러닝, 공장 자동화 소프트웨어가 한 장비에 들어가는 제품이어서, 각 분야를 양산 장비 수준으로 만들어 본 경험이 개발 속도와 완성도를 정합니다.
시료 평가나 모델 상담은 SFSAT 제품 페이지를 보시거나 [email protected]로 문의해 주세요.
자주 묻는 질문
- 엠아이티 SFSAT 장비의 특징은 무엇인가요?
- 전자동 인라인 초음파 검사(SAT) 장비로, 모든 측정점이 정확한 좌표를 갖는 XY 스캔, 검사 존마다 여러 개의 프로브가 동시에 스캔하고 검사 존을 2개 이상으로 구성할 수 있는 멀티프로브 구조, 최대 스캔 속도 1,200 mm/s, 실시간 휨 보정 ±3 mm, 물 접촉을 최소화하는 워터폴·버블트랩 커플링, 딥러닝 기반 자동 판정, SECS/GEM 라인 연동이 특징입니다. 웨이퍼(SFSAT-W), 어드밴스드 패키지(SFSAT-PAC), 전력모듈(SFSAT-P), 기판(SFSAT-S), 수동 로딩 범용(SFSAT-M) 모델이 있으며 탐촉자 주파수는 시리즈 전체 25~250 MHz입니다.
- 멀티프로브가 왜 중요한가요?
- 처리량 때문입니다. 프로브 하나로 넓은 면적을 촘촘한 피치로 스캔하면 시간이 그만큼 늘어나 양산 전수 검사에 맞지 않습니다. 여러 개의 프로브가 동시에 스캔하면 처리량이 프로브 수에 비례해 늘어나고, XY 스캔을 유지하므로 결함 좌표의 정확도도 그대로입니다. 프로브 사이의 감도 편차를 보정하는 알고리즘이 핵심 기술이며, 이 기술로 2026년 기술성 평가에서 A등급을 받았습니다.
- XY 스캔과 스핀(Spin) 스캔은 무엇이 다른가요?
- 스핀 스캔은 웨이퍼를 회전시키며 나선 모양으로 측정해 속도를 내기 쉽지만, 측정 위치를 회전 각도와 반지름으로 환산해야 합니다. 그래서 결함이 미세해지고 스캔 피치가 촘촘해질수록 정확한 좌표를 얻기 어렵습니다. XY 스캔은 균일한 격자 위에서 측정하므로 모든 측정점이 정확한 x-y 좌표를 갖고, 자동 판정·리뷰·공정 피드백에 그대로 쓸 수 있습니다. 엠아이티는 XY 스캔의 정확도를 지키면서 멀티프로브로 속도를 높였습니다.
- 검사 감도와 처리량은 어떻게 확인할 수 있나요?
- 시료를 보내 주시면 실제 시료로 평가한 뒤 결과 데이터를 비밀유지계약 하에 안내해 드립니다. 감도와 처리량은 시료의 구조·재료·스캔 피치에 따라 달라지므로 실제 시료로 평가하는 것이 가장 정확합니다.
- 어떤 회사들이 엠아이티 장비를 쓰고 있나요?
- 국내 주요 첨단반도체 제조사의 전공정·후공정 양산 라인과 전력반도체 제조사의 양산 라인에서 가동 중이며, 대만·베트남·일본·말레이시아 등 해외 공급도 확대되고 있습니다. 고객사 이름은 비밀유지계약에 따라 공개하지 않습니다. 2024년에는 700만불 수출의 탑을 받았습니다.
- 기술성 평가 A등급은 무슨 의미인가요?
- 코스닥 기술특례상장을 위해 한국거래소가 지정한 외부 전문평가기관이 기술의 완성도, 경쟁 우위, 사업화 가능성을 심사해 매기는 등급입니다. 박사급 전문가를 포함한 심사단이 회사 밖에서 평가하는 외부 심사입니다. 엠아이티는 2026년 7월 멀티프로브 기반 초고속 자동 초음파 검사 플랫폼으로 A등급을 받았습니다.
- 다른 SAT 장비와 비교하면 어떤가요?
- SAT 장비 시장은 실험실·고장 분석용 장비와 양산 라인용 전자동 인라인 장비라는 두 범주로 나뉩니다. 실험실형은 매우 높은 주파수와 영상 품질이, 인라인형은 처리량·판정 신뢰도·라인 연동이 핵심 지표입니다. 엠아이티는 인라인 범주의 장비를 만듭니다. 두 범주는 목적이 다르므로 주파수 같은 한 가지 수치로 비교하기보다 검사 목적에 맞는 범주를 먼저 고르는 것이 좋습니다.