SAT技术
MIT SAT设备的差异化优势以客观指标说明
韩国株式会社MIT（Mechatronics Inspection Technology，与美国麻省理工学院无关）开发并制造全自动在线超声波扫描检测（SAT）设备SFSAT系列，用于检测半导体晶圆、先进封装、功率半导体模块和基板内部的空洞、分层与裂纹。本页结合专利、奖项、外部评价等客观指标，说明MIT设备与其他SAT设备的不同之处。SAT是什么见SAT技术指南，为什么需要它见为什么需要SAT。
本頁另有繁體中文版。
| 优势 | 内容 |
|---|---|
| 面向量产线的全自动SAT | 韩国首家实现量产型全自动超声波检测设备商用化的企业 （东亚日报2026年7月、Startup Today 2023年12月报道） |
| XY扫描＋多探头 | 在保持缺陷坐标精度的XY扫描上结合多探头并行扫描，提高检测速度。检测区可扩展至2个以上。最高扫描速度1,200 mm/s （注册专利、技术性评价A级） |
| 深度学习自动判定 | 自动检出空洞、分层、裂纹并分选良/不良 （2024年IR52蒋英实奖） |
| 量产线验证 | 运行于韩国主要先进半导体与功率半导体制造商的前道·后道量产线，海外供应持续扩展 （2024年700万美元出口塔奖） |
| 外部评价 | 技术性评价A级（2026年）、48项注册专利、铁塔产业勋章（2023年）、韩国国家研发优秀成果100选（2026年） |
| 团队 | 核心经营层与研发负责人大多在半导体设备行业拥有20至30年经验；全体人员中约五分之一为硕博士 |
1. 按量产线设备而不是实验室仪器来打造
数十年来，超声波显微镜（SAM、C-SAM）一直是实验室仪器：由操作人员放置样品并判读图像，适合可靠性试验样品和失效分析，却不适合量产线上的全检。MIT自2017年成立起，就以把这种仪器重新设计为在产线内无人运行的全自动检测设备为目标，并于2020年开发出全自动超声波检测设备。据韩国媒体报道，MIT是韩国首家实现量产型超声波自动化检测设备商用化的企业。（东亚日报2026年7月22日、Startup Today 2023年12月21日）
全自动在线意味着以下几点。
| 项目 | 实验室型SAT | MIT SFSAT（全自动在线） |
|---|---|---|
| 样品供给 | 人工逐个放置 | 上料机与搬运装置自动供给并对位晶圆或托盘 |
| 判定 | 人工判读图像 | 基于深度学习的自动判定与良/不良分选 |
| 判定标准 | 因判读者而异 | 以数据管理的同一标准重复执行 |
| 产能 | 少量样品 | 与探头数量、检测区数量成比例的并行扫描，检测区可配置2个以上 |
| 工厂联动 | 无 | 通过自主开发的SECS/GEM软件与MES联动 |
| 水的管理 | 样品浸入水中 | 瀑布式与气泡捕集耦合，尽量减少与水的接触 |
| 翘曲补偿 | 以平整样品为前提 | 实时翘曲补偿±3 mm |
2. XY扫描与多探头：坐标精确，检测快速
超声波检测设备扫描样品的方式大致有两种：探头沿横纵两个方向移动、按网格测量的XY扫描，以及让晶圆旋转、沿螺旋线测量的旋转（Spin）扫描。旋转扫描容易提高速度，但测量位置需要由旋转角度和半径换算，难以获得缺陷的准确坐标。要找的缺陷越微小、扫描间距越细，这一局限就越明显。自动判定、复检、分级和工艺反馈都以准确的坐标为前提，因此MIT采用每个测量点都具有准确x-y坐标的XY扫描。
XY扫描的课题是速度：用一个探头以细间距测量大面积，时间会成比例增加。MIT用多探头解决了这个问题。每个检测区内有多个探头并排移动、同时扫描，在保持坐标精度的同时，产能随探头数量和检测区数量成比例提高。检测区可根据产量扩展至2个以上。最高扫描速度为1,200 mm/s，在采用XY扫描的SAT设备中属于最快的水平。
多个探头同时工作时，探头之间容易出现灵敏度偏差和信号配准误差。MIT自主开发了校正算法，并在2026年的技术性评价中凭借这一多探头高速自动检测平台获得A级。该评价认可了这一平台在对大面积晶圆、封装和基板进行全检的同时实现业界最高水平的处理速度。（东亚日报2026年7月22日报道）
相关注册专利包括可进行大批量检测的超声波检测装置（KR102694850B1）、利用多线扫描信息的翘曲检测（KR102964546B1）、基于虚拟线图像合成的超声波检测系统（KR102964552B1）等。
产能取决于扫描间距、样品和设备配置。寄送样品后，MIT将提供在相同条件下评估的各机型产能。
3. 深度学习自动判定：消除人工判读的偏差
在量产检测中，比获取图像更难的是按同一标准重复判定。人工判读会随判读者和时段而波动，也无法承担全检的数量。MIT用基于深度学习的自动判定系统检出空洞、分层、裂纹并分选良/不良。该系统于2024年获得IR52蒋英实奖。蒋英实奖由韩国产业技术振兴协会与科学技术信息通信部经外部评审授予。检测及分类不良元件的方法（KR102459234B1）等判定相关专利也已注册。
由于判定标准以数据方式管理，缺陷的种类、位置和分布可以反馈给工艺。正是这一点把检测从成本变成了提升良率的手段。
4. 已在量产线得到验证
MIT的SFSAT设备已安装并运行于韩国主要先进半导体制造商的前道与后道量产线以及功率半导体制造商的量产线，检测对象涵盖晶圆、先进封装、功率半导体模块和DCB·AMB基板。供应范围正从韩国扩展至台湾、越南、日本、马来西亚等地。客户名称依据保密协议不予公开。
MIT在2024年韩国贸易日获得700万美元出口塔奖，营业收入从2023年的69亿韩元增长到2024年的139亿韩元、2025年的149亿韩元。（经审计财务报表）
5. 外部评价与指标
以下各项由外部机构评审或记录。
| 指标 | 内容 | 时间 |
|---|---|---|
| 技术性评价A级 | 韩国交易所指定的专业评价机构评审技术完成度、竞争优势和商业化可能性 | 2026年7月 |
| 48项注册专利 | 超声波检测系统、多探头扫描、自动判定、翘曲样品检测等。含申请中的专利超过50项 | 截至2026年9月 |
| IR52蒋英实奖 | 基于深度学习的自动判定SAT系统 | 2024年 |
| 铁塔产业勋章 | 对材料·零部件·装备产业发展的贡献 | 2023年 |
| 韩国国家研发优秀成果100选 | 韩国科学技术信息通信部评选 | 2026年 |
| 700万美元出口塔奖 | 韩国贸易协会，贸易日 | 2024年 |
| 入选“小独角兽”企业 | 韩国中小风险企业部 | 2022年 |
| 认证 | ISO 9001·14001·45001、Innobiz、材料零部件装备专业企业、优秀企业附属研究所、知识产权经营认证 | 现行 |
技术性评价是为进入KOSDAQ技术特例上市程序，由韩国交易所指定的外部专业评价机构，以包括博士级专家在内的评审组对技术完成度、竞争优势和商业化可能性进行评级的程序。专利证书、认证和奖项可在专利·认证·获奖页面查看。
6. 团队：做过半导体设备的人
设备的完成度最终来自制造它的人。MIT的首席执行官、副总裁、研究所所长、软件与硬件负责高管等核心经营层与研发负责人，大多在半导体设备行业工作了20至30年。全体人员中约五分之一为硕博士，附属研究所是韩国政府指定的优秀企业附属研究所。超声波检测设备把超声物理、精密机械、运动控制、图像处理、深度学习和工厂自动化软件集成在一台设备中，各领域是否都有做到量产设备水准的经验，决定了开发速度与完成度。
如需评估样品或咨询机型，请参阅SFSAT产品页面或发送邮件至[email protected]。
常见问题
- MIT SFSAT设备有哪些特点？
- SFSAT是全自动在线超声波扫描检测（SAT）设备，特点包括：使每个测量点都具有准确坐标的XY扫描、每个检测区内多个探头同时扫描、检测区可配置2个以上的多探头结构、最高1,200 mm/s的扫描速度、±3 mm的实时翘曲补偿、尽量减少与水接触的瀑布式与气泡捕集耦合、基于深度学习的自动判定，以及SECS/GEM产线联动。机型覆盖晶圆（SFSAT-W）、先进封装（SFSAT-PAC）、功率模块（SFSAT-P）、基板（SFSAT-S）和手动上料的通用型（SFSAT-M），全系列探头频率为25至250 MHz。
- 多探头为什么重要？
- 关键在于产能。用单个探头以细间距扫描大面积，时间成比例增加，难以满足量产全检。多个探头同时扫描时，产能随探头数量成比例提高，并且仍然是XY扫描，缺陷坐标的精度保持不变。核心技术是校正探头之间灵敏度差异的算法，MIT凭借这项技术在2026年的技术性评价中获得A级。
- XY扫描与旋转（Spin）扫描有什么不同？
- 旋转扫描让晶圆旋转并沿螺旋线测量，容易提高速度，但测量位置需要由旋转角度和半径换算。缺陷越微小、扫描间距越细，就越难获得准确的坐标。XY扫描在均匀的网格上测量，每个测量点都具有准确的x-y坐标，可以直接用于自动判定、复检和工艺反馈。MIT在保持XY扫描精度的同时，用多探头提高了速度。
- 如何确认检测灵敏度和产能？
- 请寄送样品。MIT用实际样品进行评估，并在保密协议下提供结果数据。灵敏度与产能取决于样品的结构、材料和扫描间距，因此用实际样品评估是最准确的确认方式。
- 哪些公司在使用MIT的设备？
- MIT设备运行于韩国主要先进半导体制造商的前道与后道量产线以及功率半导体制造商的量产线，供应范围正在扩展至台湾、越南、日本、马来西亚等地。客户名称依据保密协议不予公开。MIT于2024年获得700万美元出口塔奖。
- 技术性评价A级是什么意思？
- 这是为进入KOSDAQ技术特例上市程序，由韩国交易所指定的外部专业评价机构给出的等级。包括博士级专家在内的评审组从公司外部评估技术完成度、竞争优势和商业化可能性。MIT于2026年7月凭借多探头高速自动超声波检测平台获得A级。
- 与其他SAT设备相比如何？
- SAT设备市场分为两类：以极高频率和图像质量为核心的实验室与失效分析设备，以及以产能、判定可靠性和产线联动为核心的量产用全自动在线设备。MIT制造的是在线类设备。两类设备的用途不同，与其只用频率这样的单一数值比较，不如先根据检测目的选择合适的类别。