SAT 技術
SFSAT 的特色以客觀指標說明
MIT Co., Ltd.（Mechatronics Inspection Technology，韓國）開發並製造全自動線上型（In-line）超音波掃描檢測（SAT）設備 SFSAT 系列。SAT 與超音波掃描顯微鏡（SAM、C-SAM）原理相同。SFSAT 系列可檢出半導體晶圓、先進封裝、功率半導體模組與基板內部的空洞（Void）、脫層（Delamination）與裂縫（Crack）。本頁以專利、獎項、外部評估等客觀指標，整理 SFSAT 的特色。SAT 的基本說明請見「SAT 技術指南」，需要 SAT 的原因請見「為什麼需要 SAT」。
本页另有简体中文版。
| 特色 | 內容 |
|---|---|
| 量產線用全自動 SAT | 韓國媒體報導：韓國首家將量產型全自動超音波檢測設備商用化（《東亞日報》2026 年 7 月、Startup Today 2023 年 12 月） |
| XY 掃描與多探頭 | 在保持缺陷座標精度的 XY 掃描上，結合多探頭同時掃描，提高檢測速度。檢測區可擴充至 2 個以上。最高掃描速度 1,200 mm/s（已獲證專利、技術評估 A 級） |
| 深度學習自動判定 | 自動檢出空洞、脫層、裂縫，並分類良品與不良品（2024 年 IR52 蔣英實獎） |
| 量產線應用實績 | 於韓國主要先進半導體與功率半導體製造商的前段與後段製程量產線運轉中，供應範圍擴及韓國以外（2024 年「700 萬美元出口塔」） |
| 外部評估 | 技術評估 A 級（2026 年）、已獲證專利 48 件（截至 2026 年 9 月）、韓國鐵塔產業勳章（2023 年）、韓國國家研發優秀成果 100 選（2026 年） |
| 專業人才 | 核心經營團隊與研發主管多數具備 20 至 30 年的半導體設備產業經驗；全體人員約五分之一具碩士或博士學位 |
1. 為量產線設計的全自動設備
超音波掃描顯微鏡（SAM、C-SAM）長期以來主要用於實驗室。由專業人員放置樣品並判讀影像，這種方式適合可靠度試驗樣品與故障分析（FA）；用於量產線全檢時，在產能（Throughput）與自動化方面仍有課題。本公司自 2017 年成立起，即以重新設計這類設備為目標，使其成為可在產線內運轉、不需專業人員操作的全自動檢測設備。2020 年，本公司開發出全自動（Full Automation）超音波檢測設備。韓國媒體報導，本公司是韓國首家將量產型超音波自動化檢測設備商用化的企業。（《東亞日報》2026 年 7 月 22 日、Startup Today 2023 年 12 月 21 日）
全自動線上型（In-line）的含意如下表。
| 項目 | 一般實驗室型 SAT（手動、半自動） | SFSAT 系列（全自動線上型） |
|---|---|---|
| 樣品上料 | 由專業人員逐一放置 | 由上料機（Loader）與搬送機構（Handler）將晶圓與料盤（Tray）自動上料並對位 |
| 判定 | 由專業人員觀看影像判讀 | 以深度學習自動判定，並分類良品與不良品 |
| 判定基準 | 可能因判讀人員而異 | 以資料管理同一基準，並重複套用 |
| 產能 | 數個樣品 | 與探頭數、檢測區數成比例的同時掃描。檢測區可擴充至 2 個以上 |
| 工廠連線 | 一般不在適用範圍內 | 透過自行開發的 SECS/GEM 軟體，與製造執行系統（MES）連線 |
| 水的管理 | 將樣品浸入水槽的方式（水浸式） | 以瀑布式（Waterfall）與氣泡捕集（Bubble Trap）方式，盡量減少與水的接觸 |
| 翹曲（Warpage）因應 | 以平整樣品為前提 | 即時翹曲補償 ±3 mm |
2. XY 掃描與多探頭：兼顧座標精度與檢測速度
超音波檢測設備掃描樣品的方式大致分為兩種。一種是探頭沿橫向與縱向移動、以格點方式量測的 XY 掃描；另一種是讓晶圓旋轉、沿螺旋線量測的旋轉掃描（Spin Scan）。旋轉掃描容易提高速度，但量測位置須由旋轉角度與半徑換算為座標。一般而言，待檢缺陷越微小、掃描間距越小，座標精度越不易確保。自動判定、複檢（Review）、不良分類與製程回饋，都以準確的缺陷座標為前提。因此本公司採用每個量測點都有準確 x-y 座標的 XY 掃描。
XY 掃描的課題在於速度。單一探頭以細密間距量測大面積時，檢測時間會隨之增加。本公司以多探頭架構解決這項課題。每個檢測區內有多支探頭並排移動、同時掃描，因此在保持座標精度的同時，產能會隨探頭數與檢測區數成比例增加。檢測區可依產量擴充至 2 個以上。最高掃描速度為 1,200 mm/s。
同時使用多支探頭時，探頭之間容易出現靈敏度差異與訊號對位誤差。本公司自行開發了校正這些差異與誤差的演算法，並於 2026 年的技術評估中，以這套多探頭高速自動檢測平台取得 A 級。韓國媒體報導，該評估肯定本公司在全檢大面積晶圓、封裝與基板的同時，仍實現高處理速度。（《東亞日報》2026 年 7 月 22 日）
相關的已獲證韓國專利，包括「可大量檢測的超音波檢測裝置」（KR102694850B1）與「利用多線掃描資訊的翹曲檢測」（KR102964546B1）。「基於虛擬線影像合成的超音波檢測系統」（KR102964552B1）等專利也已獲證。
產能會隨掃描間距、樣品與設備配置而異。如您提供樣品，本公司將說明在相同條件下評估的各機型產能。
3. 深度學習自動判定：降低人工判讀的差異
在量產檢測中，比取得影像更困難的，是以同一基準重複判定。由專業人員判讀時，基準容易因判讀人員與時段而有差異，也難以因應全檢的數量。本公司以深度學習自動判定系統檢出空洞、脫層與裂縫，並分類良品與不良品。這套系統於 2024 年獲頒 IR52 蔣英實獎。該獎項由韓國產業技術振興協會（KOITA）與韓國科學技術資訊通信部（MSIT）經外部評審頒發。「不良元件的檢測及分類方法」（KR102459234B1）等判定相關的韓國專利也已獲證。
判定基準以資料管理，因此可將缺陷的種類、位置與分布回饋至製程。檢測因此不再只是成本，而是提升良率的手段。
4. 量產線應用實績
本公司的 SFSAT 系列已導入韓國主要先進半導體製造商的前段與後段製程量產線，以及功率半導體製造商的量產線，目前運轉中。檢測對象涵蓋晶圓、先進封裝、功率半導體模組，以及 DBC（DCB）與 AMB 基板。供應範圍正從韓國擴展至台灣、越南、日本、馬來西亞等地。客戶名稱依保密協議（NDA）不予公開。
本公司於 2024 年韓國「貿易日」獲頒「700 萬美元出口塔」。營收由 2023 年的 69 億韓元，增加至 2024 年的 139 億韓元、2025 年的 149 億韓元。（依查核報告）
5. 外部評估與指標
以下項目均由外部機構審查或記錄。
| 指標 | 內容 | 時間 |
|---|---|---|
| 技術評估 A 級 | 由韓國交易所（KRX）指定的專業評估機構，審查技術完成度、競爭優勢與事業化可行性 | 2026 年 7 月 |
| 已獲證專利 48 件 | 超音波檢測系統、多探頭掃描、自動判定、翹曲樣品檢測等。含申請中案件則為 50 件以上 | 截至 2026 年 9 月 |
| IR52 蔣英實獎 | 以深度學習自動判定的 SAT 系統 | 2024 年 |
| 韓國鐵塔產業勳章 | 對材料、零組件與設備產業發展的貢獻 | 2023 年 |
| 韓國國家研發優秀成果 100 選 | 由韓國科學技術資訊通信部評選 | 2026 年 |
| 「700 萬美元出口塔」 | 韓國貿易協會（KITA），韓國「貿易日」 | 2024 年 |
| 獲選為韓國「小獨角獸（Baby Unicorn）」企業 | 韓國中小新創企業部（MSS） | 2022 年 |
| 認證 | ISO 9001、ISO 14001、ISO 45001，INNOBIZ 認證（韓國技術創新型中小企業認證），韓國材料、零組件與設備專業企業，韓國優秀企業附設研究所（韓國政府指定），韓國智慧財產經營認證 | 目前有效 |
技術評估是韓國 KOSDAQ 市場技術特例上市制度中的程序。由韓國交易所指定的外部專業評估機構組成含博士級專家的評審團，評估技術完成度、競爭優勢與事業化可行性後給予等級。專利證書、認證書與獲獎紀錄，可在「專利、認證與獎項」頁面查看。
6. 專業人才：長期開發半導體設備的團隊
設備的完成度，最終來自開發人員的經驗。本公司的執行長、副執行長、研發中心主管，以及軟體與硬體高階主管等核心經營團隊與研發主管，多數具備 20 至 30 年的半導體設備產業經驗。全體人員約五分之一具碩士或博士學位，研發中心為韓國政府指定的優秀企業附設研究所。超音波檢測設備將超音波物理、精密機械、運動控制、影像處理、深度學習與工廠自動化軟體整合於一台設備。因此，各領域是否具備量產設備水準的開發經驗，決定開發速度與完成度。
如需樣品評估或機型諮詢，請參閱 SFSAT 產品頁面，或來信 [email protected] 洽詢。
常見問題
- MIT Co., Ltd. 的 SFSAT 設備有哪些特點？
- SFSAT 系列是 MIT Co., Ltd.（韓國）的全自動線上型（In-line）超音波掃描檢測（SAT）設備。特點包括每個量測點都有準確座標的 XY 掃描，以及每個檢測區由多支探頭同時掃描的多探頭架構，檢測區可擴充至 2 個以上。最高掃描速度為 1,200 mm/s，並具備 ±3 mm 的即時翹曲（Warpage）補償。耦合採用瀑布式（Waterfall）與氣泡捕集（Bubble Trap）方式，盡量減少與水的接觸。另具備深度學習自動判定與 SECS/GEM 產線連線功能。機型涵蓋晶圓（SFSAT-W）、先進封裝（SFSAT-PAC）、功率模組（SFSAT-P）、基板（SFSAT-S）與手動上料的通用型（SFSAT-M），全系列探頭頻率為 25 至 250 MHz。
- 多探頭為什麼重要？
- 原因在於產能（Throughput）。單一探頭以細密間距掃描大面積時，檢測時間會隨之增加，在量產全檢上成為課題。多支探頭同時掃描時，產能會隨探頭數成比例增加；由於仍是 XY 掃描，缺陷座標的精度也維持不變。核心技術是校正探頭之間靈敏度差異的演算法，MIT Co., Ltd. 以這項技術於 2026 年的技術評估中取得 A 級。
- XY 掃描與旋轉掃描（Spin Scan）有什麼不同？
- 旋轉掃描讓晶圓旋轉並沿螺旋線量測，容易提高速度，但量測位置須由旋轉角度與半徑換算為座標。一般而言，缺陷越微小、掃描間距越小，座標精度越不易確保。XY 掃描在均勻的格點上量測，每個量測點都有準確的 x-y 座標，可直接用於自動判定、複檢（Review）與製程回饋。MIT Co., Ltd. 的 SFSAT 系列在保持 XY 掃描座標精度的同時，以多探頭提高檢測速度。
- 如何確認檢測靈敏度與產能？
- 可透過實際樣品的評估確認。如您提供樣品，MIT Co., Ltd. 將以實際樣品評估，並在保密協議（NDA）下提供結果資料。檢測靈敏度與產能會隨樣品的結構、材料與掃描間距而異，因此建議以實際樣品評估。
- 哪些公司使用 MIT Co., Ltd. 的 SFSAT 設備？
- SFSAT 系列目前在韓國主要先進半導體製造商的前段與後段製程量產線，以及功率半導體製造商的量產線運轉。供應範圍正從韓國擴展至台灣、越南、日本、馬來西亞等地。客戶名稱依保密協議不予公開。MIT Co., Ltd. 於 2024 年韓國「貿易日」獲頒「700 萬美元出口塔」。
- 技術評估 A 級是什麼意思？
- 技術評估 A 級是韓國交易所（KRX）指定的外部專業評估機構給予的等級，用於韓國 KOSDAQ 市場的技術特例上市。評估機構審查技術完成度、競爭優勢與事業化可行性。這是外部審查，由包含博士級專家的外部評審團評估。MIT Co., Ltd. 於 2026 年 7 月以多探頭高速自動超音波檢測平台取得 A 級。
- 選擇 SAT 設備時，應以什麼基準比較？
- SAT 設備大致分為實驗室與故障分析（FA）用，以及量產線用的全自動線上型（In-line）兩類。實驗室型的關鍵指標是極高的頻率與影像品質；線上型的關鍵指標是產能、判定可靠度與產線連線。MIT Co., Ltd. 製造的是線上型設備。兩類設備的用途不同，因此與其以頻率等單一數值比較，不如先依檢測目的選擇合適的類別。